主要规格及技术指标

a) 加速电压：0.2—30KV
b) 放大倍数：5—1000000x
c) 分辨率：2.0nm@ 30KV(SE)
d) 探针电流：0.5PA-5μA
e) 超低真空压力范围：10—3000Pa
f) 5轴优中心自动样品台：X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°°R=360°
g) 最大试样高度：145mm，最大试样直径：250mm
h) X-射线分析工作距离：8.5-20 mm， 35度出射角；

主要功能及特色

EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型超低真空（环扫）扫描电子显微镜。该系列电镜提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有X射线分析技术同时还可以进行准确的能谱分析。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。

主要附件及配置

无