主要规格及技术指标

1、分辨率：30 kV时3 nm；3 kV时 7 nm
2、加速电压：0.3 – 30kV 连续可调
3、SEM放大倍数：5 – 300k倍（底片倍率＊5）；7 – 800k倍（显示器显示倍率＊6）
4、可变压力范围：6 – 650Pa

主要功能及特色

1. 固体样品表面形貌的低倍分析；
2. 固体样品表面微区元素组成分析（EDS点、线、面扫描）

主要附件及配置

无