主要规格及技术指标

光源：氙灯
探测器：可见 PMT 190-920 nm
红外 IGA 900-2100 nm
入射光斑：2 nm
微光斑：50μm、100μm、1mm
入射角：55-90°（5°Step），一般为固定70°
样品台：6"，Z轴20mm

主要功能及特色

主要功能：
（1）尺寸信息：界面厚度;膜层厚度；氧化层厚度；粗糙厚度。
（2）光学性质：折射率（n）;消光系数（k）。
（3）材质信息：组成；微结构；掺杂；各向异性。
特色：
无损;高精度；高灵敏；多层分析；无需样品制备；在线实时测试：薄膜生长、表面改性。

主要附件及配置

无