主要规格及技术指标

电子枪：热场发射超亮型；
加速电压：20kV-200kV；
信息分辨率：0.12nm；
STEM分辨率：0.16nm；
STEM：放大倍数范围：310-330MX；4个独立的探测器BF/DF2/DF4/HAADF；
超级能谱系统：4探头无窗式；
CMOS相机：分辨率16M像素；
磁畴分布观察系统DPC；
轻元素成像系统iDPC；
压电陶瓷样品台；
三维重构系统：TEM、STEM及EDS；

主要功能及特色

1. 低倍形貌分析；
2. 高倍晶格像；
3. 选区电子衍射（ED）；
4. 微区成分分析（EDS-Mapping）；
5. 三维重构分析

主要附件及配置

无