主要规格及技术指标

1. 真空系统
1.1采用两级无油真空泵系统，前级泵采用隔膜干泵，具有不反油、速度快、噪声小、体积小等优点，二级高真空泵采用超高速涡轮分子泵无油真空，
1.2极限真空度＜ 1×10-5mbar
2. 离子源系统
2.1离子源类型：鞍型场离子源，3只，每只离子枪拥有独立电源控制
2.2离子束能量：1Kev-10Kev
2.3离子束电流：0.5-4.5mA/0.1mA步长调节（单个离子枪）
2.4切割速率（边缘50μm处）：300μm/h（100% Si：10Kev，3.5mA）
2.5离子束对中：无需对中校正
2.6阴极使用寿命：＞350h（8KV，3.0mA）
2.7工作气体：氩气，纯度99.999%，输入气压0.2~0.8bar（也可以使用其他气体）
3. 观察系统
3.1光学系统：整机复消色差校正光学系统，彻底根除杂散光的干扰。提供高分辨率、高清晰度、无失真的三维图像质量；
3.2变倍比：整机变倍比不小于8:1，可连续或逐级变倍，变倍范围更广；
3.3放大倍率：9.6X-77X
3.4光源：LED冷光源照明，使用寿命不小于25000小时，恒定色温4500K，无级调光，照明均匀；
4. 旋转平面抛光样品台
4.1最大样品尺寸：直径38mm/12mm厚
4.2最大离子抛光区域：直径25mm（样品直径25mm）
4.3入射离子束角度设置（1.5°步进）：0 - 48 °（根据样品直径稍有不同）
4.4横向移动速度：0.1-2 mm/s
4.5旋转速度：低速（～4 rpm），中速（～7 rpm），高速（～10 rpm）
5．用户界面及控制系统
5.1一体化触摸屏控制
5.2自动化程序控制
5.3实时显示真空度，离子源工作状态（工作电压，束流）
5.4实时显示样品剩余处理时间

主要功能及特色

高倍扫面电镜观察泥页岩等微米-纳米级的矿物、有机质、孔隙等，往往需要十分平整的岩样表面。三离子束研磨仪主要用来为实验室已安装的环境扫描电子显微镜的制备更加标准的样品。

主要附件及配置

无