仪器列表
主要规格:
1.电子光学系统部分
预对中发叉式钨灯丝电子枪
二次电子图像: 3.0 nm @ 30 kV
背散射电子图像:4.0 nm @ 30 kV
加速电压:1 kV~30 kV
底片倍率:1-300000x,1-16x为光学放大
屏幕倍率:1-1000000x
2.探测器:二次电子探测器;背散射探测器
技术指标:
1 . 可同时进行光学分析及电子分析功能
2.分辨率:优于10nm,可以对亚微米的结构进行表征
3.加速电压: 5kV-10kV连续可调
4. 预抽真空时间:小于30s
5. 真空技术:有真空分级技术
6. 样品台移动控制方式:自动样品台控制,具有X、Y坐标回位功能
7. 观察模式:全面模式(形貌和成份)、形貌模式A(3D)、形貌模式B(3D)针对已保存图片,选中保存图片,即可一键还原到原来位置,并还原图片原有参数
8. 图像分辨率:960 x 600、1920 x 1200、3840 x 2400和7680 x 4800
9. 样品防撞装置,防呆设计,对于没有经验的学生也能使用,不会因设备内部移动造成撞击。
组织形貌分析
无
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