主要规格及技术指标

极限真空度：≤6.67×10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.67×10-4Pa；
系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成。

主要功能及特色

利用高能量电子束对蒸发物料进行电子轰击加热，使得蒸发材料达到沸点后挥发并沉积到样品表面，沉积成薄膜材料。主要用于金属薄膜的沉积。

主要附件及配置

无