主要规格及技术指标

1. 高清CMOS相机有效像素：1920*1200；
2. 扫描范围：400um；
3. 扫描机构：压电陶瓷；
4. 最大扫描速度：400um/s；
5. 待测物反射率：0.02-100%；
6. RMS重复性：0.005nm；
7. 1σ台阶重复性：0.08%；
8. 1σ台阶高度准度：0.5%；
9. 测量点数：1920*1200；
10. 扫描速度：169-3200Hz；
11. 搭配可旋转镜头塔台，可安装镜头数：4个
12. 白光干涉仪专用镜头参数：20X, 50X
13. 平台运行范围：100mm*100mm；
14. 运动方式：电动；
15. 倾斜角度：±5°；
16. 分辨率：0.01um；
17. 平台精度：1um+0.01L。

主要功能及特色

白光干涉仪，包括测头（光源、相机、扫描机构、光路系统等）、主机、控制器、镜头、电动平台、气浮防震台、扫描分析软件等构成。
白光干涉仪采用非接触式的白光干涉原理，避免接触式测量对样品的损伤，在任意放大倍率下均可实现＜1nm的检测精度；可用于对各种精密器件以及材料表面进行亚纳米级测量，以“面”的形式获取表面3D形貌，通过专用软件对3D形貌进行数据分析和处理。

主要附件及配置

无