主要规格及技术指标

1.射频电源系统：进口上电极RF1000W，进口下电极 PF500W。
2.支持6英寸或以下尺寸整片以及碎片刻蚀
3.气路数量可根据户需求配置
4.配备背氦控温部件（包含软硬件）
5.铝质腔体或不锈钢腔体
6.不锈钢立柜
7.极限真空5x10-4Torr，20分钟内可以达到10-3Torr级别
8.涡轮分子泵

主要功能及特色

深硅刻蚀，硅片、聚合物等的氧等离子体刻蚀。

主要附件及配置

无