主要规格及技术指标

温度范围：常温-400℃ 分析定位精度:10 nm 位移分辨率：≤0.006nm 硬度/模量测量：10mN纳米压痕,; 80μm ×80μm范围的硬度/模量；5mN动态力学测试(0.1Hz ~ 300Hz); 结合力/摩擦系数测量：2mN纳米划痕, 摩擦磨损测量：面积范围：≤1μm×1μm ~ 75μm×75μm

主要功能及特色

准静态纳米压痕：针对薄膜和不均匀材料优化的纳米力学特性。 动态特征：准静态和动态机械特性，可对从超软到超硬等各种材料进行表征。 高温特性：研究机械特性和时间基于温度的变形行为。 跨尺度测试：在纳米和微米尺度上的纳米压痕测试。

主要附件及配置

无